Личный кабинетuser
orange img orange img orange img orange img orange img
Дипломная работаРазное
Готовая работа №96752 от пользователя Куклачев Дмитрий
book

ИССЛЕДОВАНИЕ И ОТРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ МАГНИТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

1 290 ₽
Файл с работой можно будет скачать в личном кабинете после покупки
like
Гарантия безопасной покупки
help

Сразу после покупки работы вы получите ссылку на скачивание файла.

Срок скачивания не ограничен по времени. Если работа не соответствует описанию у вас будет возможность отправить жалобу.

Гарантийный период 7 дней.

like
Уникальность текста выше 50%
help

Все загруженные работы имеют уникальность не менее 50% в общедоступной системе Антиплагиат.ру

file
Возможность снять с продажи
help

У покупателя есть возможность доплатить за снятие работы с продажи после покупки.

Например, если необходимо скрыть страницу с работой на сайте от третьих лиц на определенный срок.

Тариф можно выбрать на странице готовой работы после покупки.

Не подходит эта работа?
Укажите тему работы или свой e-mail, мы отправим подборку похожих работ
Нажимая на кнопку, вы соглашаетесь на обработку персональных данных

содержание

Введение 4
1 Определение целей ВКР, постановка задач 5
2 Оценка актуальности 6
3 Метод магнетронного распыления 7
3.1 Физика магнетронного разряда 7
3.2 Разновидности магнетронных распылительных систем 13
4 Сравнение метода магнетронного распыления с другими методами получения пленок 20
4.1 Метод термического вакуумного напыления 20
4.2 Электронно-лучевое испарение 22
4.3 Вакуумно-дуговое нанесение покрытий 23
4.4 Катодное распыление (ионное распыление) 25
4.5 Ионно-лучевой синтез 27
4.6 Магнетронное распыление 28
4.7 Выбор метода получения тонких пленок 31
5 Материалы для распыления 32
6 Описание лабораторной установки EPOS-PVD-DESK-PRO 34
6.1 Устройство и работа составных частей 37
6.2 Автоматизированная система управления технологическим процессом (АСУТП) установки 38
6.2.1 Оборудование нижнего уровня 39
6.2.2 Оборудование среднего уровня 39
6.2.3 Оборудование верхнего (операторного) уровня 40
6.2 Важные преимущества установки 45
7 Алгоритм работы на установке EPOS-PVD-DESK-PRO 46
7.1 Пошаговый алгоритм работы на установке 46
7.2 Очистка установки 50
8 Изготовление структуры методом магнетронного распыления 50
Заключение 54
Список литературы 56


Весь текст будет доступен после покупки

ВВЕДЕНИЕ

Современное развитие науки и техники тесно связано с расширением наших знаний в области композиционных материалов. Область применения композитных материалов охватывает широкий диапазон - от космических аппаратов до бытовых приборов.
Для получения магнитоэлектрических композитов в настоящее время используют различные методы синтеза, причем выбор метода в случае слоистых структур обычно зависит от толщины слоев. Ученые, занимающиеся исследованием магнитоэлектрического эффекта в композитных слоистых структурах, в течение длительного времени применяли клеевую технологию для создания таких структур.
Для получения качественной композитной слоистой структуры необходимо контролировать параметры при изготовлении данной структуры на каждом этапе технологического процесса ее создания.
Метод магнетронного распыления используется для получения пленок из различных материалов, таких как металлы, оксиды, нитриды, карбиды и пр. Это позволяет использовать его в различных областях, включая создание композитных слоистых структур, поэтому с целью получения более качественной магнитоэлектрической структуры следует рекомендовать метод магнетронного распыления.

Весь текст будет доступен после покупки

отрывок из работы

2 Оценка актуальности

На протяжении длительного времени ученые, проводя научные исследования магнитоэлектрического эффекта в композитных слоистых структурах, пользовались клеевой технологией для создания композиционных магнитоэлектрических структур [1].
Магнетронные распылительные системы (МРС) позволяют распылять практически все виды материалов, в том числе материалы, которые используются в качестве компонентов для создания магнитоэлектрических структур.
В работе [8] исследованы структурные, электрические и оптические свойства тонких графитоподобных пленок, полученных на кристаллическом кремнии и кварце методом магнетронного распыления при температурах подложки в диапазоне от 320 до 620?C. Из анализа установлено, что с ростом температуры подложки происходит увеличение характерного размера кристаллитов, уменьшение концентрации структурных дефектов и содержания аморфного углерода в фазовом составе пленок.

Весь текст будет доступен после покупки

Список литературы

1 Bichurin M., Petrov V. Modeling of magnetoelectric effects in composites, Springer series in material science, Volume 201, 2014, 108p.
2 Bichurin M. I., Petrov R. V., and Kiliba Y. V., “Magnetoelectric microwave phase shifters,” Ferroelectrics 204, 311–319 (1997).
4 Caillard, A. Energy transferred from a hot nickel target during magnetron sputtering / A. Caillard, M. El’Mokh, N. Semmar, R. Dussart, T. Lecas, A.-L. Thomann // IEEE Trans. Plasma Sci. – 2014. – v. 42. – p. 2802–2803.
4 Ho, K.K. Sputter deposition of NiTi thin film shape memory alloy using a heated target / K.K. Ho, G.P. Carman // Thin Solid Films. – 2000. – v. 370. – p. 18–29.
3 Kawabata, K. High rate sputtering for Ni films by an rf-dc coupled magnetron sputtering system with multipolar magnetic plasma confinement / K. Kawabata, T. Tanaka, A. Kitabatake, K. Yamada, Y. Mikami, H. Kajioka, K. Toiyama // J. Vac. Sci. Technol. A. – 2001. – v. 19. – p. 1438–1441.
3 Sandstrom, P. Structure and surface morphology of epitaxial Ni films grown on MgO (111) substrates: growth of high quality single domain films / P. Sandstrom, E.B. Svedberg, J. Birch, J.E. Sundgren // J. Cryst. Growth. – 1999. – v. 197. – p. 849–857.
4 Saoula, N. Influence of substrate bias on the structure and properties of TiCN films deposited by radio-frequency magnetron sputtering / N. Saoula, N. Madaoui, R. Tadjine, R.M. Erasmus, S. Shrivastava, J.D. Comins // Thin Solid Films. – 2016. – v. 616. – p. 521–529.
5 Sidelev, D.V. Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition / D.V. Sidelev, G.A. Bleykher, V.A. Grudinin, V.P. Krivobokov, M. Bestetti, M.S. Syrtanov, E.V. Erofeev // Surface and Coatings Technology. – 2018. – v. 334. – p. 61-70.

Весь текст будет доступен после покупки

Почему студенты выбирают наш сервис?

Купить готовую работу сейчас
service icon
Работаем круглосуточно
24 часа в сутки
7 дней в неделю
service icon
Гарантия
Возврат средств в случае проблем с купленной готовой работой
service icon
Мы лидеры
LeWork является лидером по количеству опубликованных материалов для студентов
Купить готовую работу сейчас

не подошла эта работа?

В нашей базе 78761 курсовых работ – поможем найти подходящую

Ответы на часто задаваемые вопросы

Чтобы оплатить заказ на сайте, необходимо сначала пополнить баланс на этой странице - https://lework.net/addbalance

На странице пополнения баланса у вас будет возможность выбрать способ оплаты - банковская карта, электронный кошелек или другой способ.

После пополнения баланса на сайте, необходимо перейти на страницу заказа и завершить покупку, нажав соответствующую кнопку.

Если у вас возникли проблемы при пополнении баланса на сайте или остались вопросы по оплате заказа, напишите нам на support@lework.net. Мы обязательно вам поможем! 

Да, покупка готовой работы на сайте происходит через "безопасную сделку". Покупатель и Продавец финансово защищены от недобросовестных пользователей. Гарантийный срок составляет 7 дней со дня покупки готовой работы. В течение этого времени покупатель имеет право подать жалобу на странице готовой работы, если купленная работа не соответствует описанию на сайте. Рассмотрение жалобы занимает от 3 до 5 рабочих дней. 

У покупателя есть возможность снять готовую работу с продажи на сайте. Например, если необходимо скрыть страницу с работой от третьих лиц на определенный срок. Тариф можно выбрать на странице готовой работы после покупки.

Гарантийный срок составляет 7 дней со дня покупки готовой работы. В течение этого времени покупатель имеет право подать жалобу на странице готовой работы, если купленная работа не соответствует описанию на сайте. Рассмотрение жалобы занимает от 3 до 5 рабочих дней. Если администрация сайта принимает решение о возврате денежных средств, то покупатель получает уведомление в личном кабинете и на электронную почту о возврате. Средства можно потратить на покупку другой готовой работы или вывести с сайта на банковскую карту. Вывод средств можно оформить в личном кабинете, заполнив соответствущую форму.

Мы с радостью ответим на ваши вопросы по электронной почте support@lework.net

surpize-icon

Работы с похожей тематикой

stars-icon
arrowarrow

Не удалось найти материал или возникли вопросы?

Свяжитесь с нами, мы постараемся вам помочь!
Неккоректно введен e-mail
Нажимая на кнопку, вы соглашаетесь на обработку персональных данных