Личный кабинетuser
orange img orange img orange img orange img orange img
Курсовая работаРазное
Готовая работа №7958 от пользователя Чистякова Наталья
book

История становления рынка магнетронных распылительных систем как область технических наук

390 ₽
Файл с работой можно будет скачать в личном кабинете после покупки
like
Гарантия безопасной покупки
help

Сразу после покупки работы вы получите ссылку на скачивание файла.

Срок скачивания не ограничен по времени. Если работа не соответствует описанию у вас будет возможность отправить жалобу.

Гарантийный период 7 дней.

like
Уникальность текста выше 50%
help

Все загруженные работы имеют уникальность не менее 50% в общедоступной системе Антиплагиат.ру

file
Возможность снять с продажи
help

У покупателя есть возможность доплатить за снятие работы с продажи после покупки.

Например, если необходимо скрыть страницу с работой на сайте от третьих лиц на определенный срок.

Тариф можно выбрать на странице готовой работы после покупки.

Не подходит эта работа?
Укажите тему работы или свой e-mail, мы отправим подборку похожих работ
Нажимая на кнопку, вы соглашаетесь на обработку персональных данных

содержание

Введение 3
1 Типы процессов нанесения покрытий 4
2 Методы формирования покрытий 8
2.1 Катодное распыление 8
2.2 Магнетронное распыление и его виды 11
2.2.1 Сбалансированные и несбалансированные 13
2.2.2 DC-магнетронная система 14
2.2.3 Жидкофазная магнетронная система 16
2.2.4 Высокочастотная магнетронная система 18
2.2.5 Импульсные магнетронные системы 20
2.2.6 Дуальные магнетронные системы 22
3 Современное состояние рынка 24
Заключение 26
Список использованных источников 27


Весь текст будет доступен после покупки

ВВЕДЕНИЕ

Метод магнетронного распыления в настоящее время является одним из наиболее широко применяемых способов формирования покрытий в самых различных областях применения: промышленность, оптика, биомедицина и т.д.
Первые шаги в описании метода были предприняты ещё в 1898, когда было описано появление кольцеобразного электрического разряда. Уже в 1913 данное явление было интерпретировано как электрический разряд в скрещенных полях. И только в 1939 Ф.М. Пеннинг запатентовал устройство, которое позволяло производить формирование покрытий путём распыления, используя для этого цилиндрическую магнетронную конфигурацию.
Объектом данного исследования является история развития магнетронных распылительных систем (МРС).
Предметом исследования является история развития магнетронных распылительных систем в области технических наук.
Целью данного исследования рассмотрение становления метода магнетронного распыления как развитие технологий формирования функциональных покрытий.
Для достижения поставленной цели были выделены следующие задачи:
- Привести краткую историческую сводку возникновения МРС;
- Описать методики, логическим продолжателем которых является метод МРС;
- Описать исторически сложившиеся виды МРС, их преимущества и недостатки;
- Привести краткое описание состояния современного рынка МРС.


Весь текст будет доступен после покупки

отрывок из работы

1 Типы процессов нанесения покрытий

Процессы формирования покрытий по методам осаждения подразделяют на физические (Physical vapor deposition) и химические (Chemical vapor deposition). Сами же эти методы также подразделяются на достаточно большое количество методов формирования покрытий, в том числе и комбинированных.
Процессы химического и физического осаждения основаны на разных принципах взаимодействия используемого вещества. В обоих случаях результатом, однако, является формирование на подложке из газовой фазы покрытия.
В основе физического осаждения лежат переходы твёрдого распыляемого вещества в газообразное состояние, что может происходить как в результате термического воздействия, так и в результате столкновения с материалом мишени частиц достаточной для выбивания атомов вещества энергий. Характеристики покидающих мишень частиц определяются множеством параметров распыления. Так, их плотность, форма движения, а также энергия, определяются параметрами и формой налетающих распыляющих частиц. Метод PVD позволяет проводить напыление при температурах до 450°С, что практически не ограничивает виды подложек, на которых можно формировать покрытие.
Процессы физического осаждения проходят под вакуумом или с применением рабочего газа (в процессе используется низкое давление порядка 10-2 мбар). Данное требование связано с минимизацией вероятности столкновений распыляемых и других частиц на пути от мишени до подложки. По этой же причине распыляемый поток частиц должен быть прямо направлен в сторону подложки. Таким образом, формирование покрытия происходит только на том участке подложки, который ориентирован в данный момент к источнику распыляемых частиц. При этом скорость формирования покрытий прямо зависит от взаимного расположения подложки и источника.

Весь текст будет доступен после покупки

Список литературы

1. Faraji G. [и др.] Introduction // Severe Plastic Deformation. 2018. C. 1–17.
2. Zhang Q. [и др.] Chemical route derived bismuth ferrite thin films and nanomaterials // Journal of Materials Chemistry C. 2016. Т. 4. № 19. C. 4092–4124.
3. Локтев Д., Ямашкин Е. Методы и оборудование для нанесения износостойких покрытий // Наноиндустрия. 2007. №4. С. 18-25.
4. Thin Film Structures in Energy Applications под ред. S. Babu Krishna Moorthy, Springer International Publishing, 2015.
5. Coppens K., Ferraris E. Chemical Vapor Deposition (CVD) // CIRP Encyclopedia of Production Engineering. 2019. C. 239–243.
6. Данилина Т.И. Технология тонкопленочных микросхем // Учебное пособие. Томск: ТУСУР. 2006. 154с.
7. Кузьмичёв А.И. Источник Магнетронные распылительные системы // Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. К.: Аверс, 2008. 244 с.

Весь текст будет доступен после покупки

Почему студенты выбирают наш сервис?

Купить готовую работу сейчас
service icon
Работаем круглосуточно
24 часа в сутки
7 дней в неделю
service icon
Гарантия
Возврат средств в случае проблем с купленной готовой работой
service icon
Мы лидеры
LeWork является лидером по количеству опубликованных материалов для студентов
Купить готовую работу сейчас

не подошла эта работа?

В нашей базе 78761 курсовых работ – поможем найти подходящую

Ответы на часто задаваемые вопросы

Чтобы оплатить заказ на сайте, необходимо сначала пополнить баланс на этой странице - https://lework.net/addbalance

На странице пополнения баланса у вас будет возможность выбрать способ оплаты - банковская карта, электронный кошелек или другой способ.

После пополнения баланса на сайте, необходимо перейти на страницу заказа и завершить покупку, нажав соответствующую кнопку.

Если у вас возникли проблемы при пополнении баланса на сайте или остались вопросы по оплате заказа, напишите нам на support@lework.net. Мы обязательно вам поможем! 

Да, покупка готовой работы на сайте происходит через "безопасную сделку". Покупатель и Продавец финансово защищены от недобросовестных пользователей. Гарантийный срок составляет 7 дней со дня покупки готовой работы. В течение этого времени покупатель имеет право подать жалобу на странице готовой работы, если купленная работа не соответствует описанию на сайте. Рассмотрение жалобы занимает от 3 до 5 рабочих дней. 

У покупателя есть возможность снять готовую работу с продажи на сайте. Например, если необходимо скрыть страницу с работой от третьих лиц на определенный срок. Тариф можно выбрать на странице готовой работы после покупки.

Гарантийный срок составляет 7 дней со дня покупки готовой работы. В течение этого времени покупатель имеет право подать жалобу на странице готовой работы, если купленная работа не соответствует описанию на сайте. Рассмотрение жалобы занимает от 3 до 5 рабочих дней. Если администрация сайта принимает решение о возврате денежных средств, то покупатель получает уведомление в личном кабинете и на электронную почту о возврате. Средства можно потратить на покупку другой готовой работы или вывести с сайта на банковскую карту. Вывод средств можно оформить в личном кабинете, заполнив соответствущую форму.

Мы с радостью ответим на ваши вопросы по электронной почте support@lework.net

surpize-icon

Работы с похожей тематикой

stars-icon
arrowarrow

Не удалось найти материал или возникли вопросы?

Свяжитесь с нами, мы постараемся вам помочь!
Неккоректно введен e-mail
Нажимая на кнопку, вы соглашаетесь на обработку персональных данных