содержание
Введение 6
1 Распространение оптического излучения в диэлектрических пленках 9
1.1 Оптические моды волноводных пленок 13
2 Изготовление планарных волноводов в подложках 17
2.1 Твердотельная диффузия 17
2.2 Ионный обмен 22
3 Основные типы канальных интегрально-оптических волноводов 29
4 Структура стёкол, применяемых для изготовления подложек канальных волноводов 33
5 Использование интегрально-оптических элементов в системах связи и сенсорных устройствах 39
5.1 Технология изготовления элементов интегральной оптики методом ионного обмена в стеклянных подложках 43
6 Метод термического вакуумного нанесения металлических плёнок 49
6.1 Общее описание метода 49
6.2 Стадии термического вакуумного напыления и испаряемые вещества 51
7 Метод фотолитографии 52
7.1 Очистка и подготовка поверхности 53
7.2 Нанесение фоторезиста 53
7.3 Предварительная сушка и экспонирование 54
8 Метод ионного обмена 56
8.1 Описание метода 56
8.2 Диодные системы ионного распыления 60
8.3 Триодные системы ионного распыления 63
9 Метод электростимулированной миграции ионов 65
10 Процесс механической обработки стеклянной пластины с волноводными структурами 67
11 Изготовление и исследование заглубленных канальных волноводов 70
12 Создание интегральных звездообразных разветвителей 77
Заключение 85
Список использованных источников 86
Весь текст будет доступен после покупки
Показать еще текст
