Личный кабинет

ДиссертацияФизика

Готовая работа №110585 от пользователя Куклачев Дмитрий

Измерение температуры мишени ZnO в условиях горячего распыления

Name: Измерение температуры мишени ZnO в условиях горячего распыления
Price: 1450.00 RUB

1 450 ₽

Файл с работой можно будет скачать в личном кабинете после покупки

Страниц: 60

Год написания: 2024

Куклачев Дмитрий

Сообщить о нарушении авторских прав

Гарантия безопасной покупки

Уникальность текста выше 50%

Возможность снять с продажи

Не подходит эта работа?

Укажите тему работы или свой e-mail, мы отправим подборку похожих работ

содержание

Введение……………………………………………………………………. 3
Глава. 1. Литературный обзор……………………………………. 6
1.1. Распыление горячих мишеней в методе магнетронного распыления………………..
6
1.2. Измерение температуры мишени как проблема в тех-нологии распыления горячих мишеней…………..
13
1.3. Оптические методы измерения температуры тел……. 20
Глава. 2. Методика эксперимента…………………………... 28
2.1. Описание техники и технологии магнетронного рас-пыления горячих мишеней ZnO………
28
2.2. Отработка техники измерения температуры вольфра-мовой нити методом спектральной пирометрии …… 33
2.3. Методика измерения температуры горячей мишени ZnO………. 33
Глава. 3. Измерение температуры мишени ZnO в условиях го-рячего распыления………………………………...
40
3.1. Результаты измерения температуры горячей мишени ZnO.
3.2.
Заключение ………………………………………………………………… 54
Литература……………………………………………………………….. 55

Весь текст будет доступен после покупки

Показать еще текст

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность. Метод магнетронного распыления стал базовым методом при нанесении пленок, покрытий, слоев различных материалов на поверхность изделий в целом ряде областей: наука, микро-, опто-, акустоэлектроника, различные отрасли промышленности. Принцип магнетронного распыления основан на образовании над поверхностью мишени (катода) кольцеобразной плазмы в результате столкновения электронов с молекулами рабочего газа (аргон, кислород, азот и их смесь). Положительные ионы, образующиеся в разряде, ускоряются в направлении мишени, бомбардируют ее поверхность, выбивая из неё частицы материала. Распыленные частицы осаждаются на поверхности подложки, формируя на ней пленку (покрытие).
Существуют различные модификации магнетронных распылитель-ных систем (МРС):
1. Распыление металлов (сплавов) в инертном газе (обычно аргон). Осаждаемая пленка (покрытие) – металл.
2. Реактивное распыление. Распыление металлов (сплавов) в реактивной среде (кислород, азот). Осаждаемая пленка – оксид, нитрид, оксинитрид металла.
3. Высокочастотное распыление (ВЧ-распыление). Распыление не-проводящих (диэлектрических) мишеней.
4. Сильноточное импульсное магнетронное распыление (HIPIMS – High Power Impulse Magnetron Sputtering). Характерной чертой HIPIMS является короткая длительность импульсов (10–250 мкс) при относительно невысокой частоте формирования (10 Гц–10 кГц), плотность мощности на мишени магнетрона может достигать чрезвычайно высоких мгновенных значений – более 1000 Вт/см2. Благодаря высокой импульсной плотности мощности на поверхности катода обеспечивается высокая концентрация плазмы (до 1013 см-3) и степень ионизации распыленного вещества (до 90%).

Весь текст будет доступен после покупки

Показать еще текст

отрывок из работы

ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

1.1. Распыление горячих мишеней в методе магнетронного распыле-ния

Распыление «холодной» мишени в магнетронных распылительных системах (МРС) происходит под воздействием интенсивного ионного пучка, при этом в пределах 95% потребляемой энергии уходит на нагрев мишени, тогда как непосредственно на распыление мишени приходится всего лишь 5%. Для отвода тепла от распылительной системы предусмотрено два метода: прямой – для металлических мишеней, косвенный – для металлических и керамических.

Рис. 1. а – магнетрон с «холодной» мишенью, б – магнетрон с «горячей» мишенью.
В последнее время начало развиваться новое направление в технике и технологии магнетронного распыления – распыление «горячих» мише-ней, в том числе распыление мишени из жидкой фазы (включая реактивное распыление). В таких системах конструктивно предусмотрено отсутствие активного охлаждения распыляемого материала, а также минимизирован отвод тепла от мишени. В таком случае за счет интенсивной бомбардировки ионов мишень нагревается до температур близких к плавлению. В целом конструкции систем с «горячей» мишенью похожи у разных исследователей: основная задача минимизировать отток тепла от мишени. Для этого между охлаждаемой поверхностью и мишенью создается промежуток от 0.5 до 1 мм (рис.1).

Весь текст будет доступен после покупки

Показать еще текст

Список литературы

1. G.A. Bleykher, A.O. Borduleva. Features of copper coatings growth at high-rate deposition using magnetron sputtering systems with a liquid metal target // Surf. Coat. Technol. – 2017. – Vol. 324. – P. 111–123.
2. A.V. Yuryeva, A.S. Shabunin. Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquidphase target // Vacuum. – 2017. – Vol. 141, – P.135–140.
3. A.V. Kaziev, A.V. Tumarkin, K.A. Discharge parameters and plasma characterization in a DC magnetron with liquid Cu target // Vacuum. – 2018, – Vol. 156. – P. 48–54.
4. I E. Oks, A. Anders. A self-sputtering ion source: a new approach to quiescent metal ion beams // Rev. Sci. Instrum. – 2010. – Vol. 81. – P. 306–312.
5. A. Vizir, A. Nikolaev. Boron ion beam generation using a self-sputtering planar magnetron // Rev. Sci. Instrum. – 2014. – Vol. 85. – P. 302–308.
6. G.A. Bleykher, A.V. Yuryeva, A.S. The role of thermal processes and target evaporation in formation of self-sputtering mode for copper magnetron sputtering // Vacuum. – 2018. – Vol. 152. – P. 156–162.
7. W.D. Sproul, D.J. Christie, D.C. Carter. Control of reactive sputtering processes // Thin Solid Films. – 2005. – Vol. 491. – P. 128–134.
8. D. Depla, S. Mahieu, R. De Gryse. Magnetron sputter deposition: linking discharge voltage with target properties // Thin Solid Films. – 2009. – Vol. 517. –P. 2825–2833.
9. D. Mercs, F. Perry, A. Billard. Hot target sputtering: a new way for high-rate deposition of stoichiometric ceramic films // Surf. Coat. Technol. – 2006. –Vol. 201. – P. 2276–2280.
10. J.S. Domaradzki, D. Kaczmarek, E.L. Microstructure and optical properties of TiO2 thin films prepared by low pressure hot target reactive magnetron sputtering // Thin Solid Films. – 2006. – Vol. 513. – P. 269–275.

Весь текст будет доступен после покупки

Показать еще текст

Купить и скачать работу

Измерение температуры мишени ZnO в условиях горячего распыления

Почему студенты выбирают наш сервис?

Работаем круглосуточно

24 часа в сутки

7 дней в неделю

Гарантия

Возврат средств в случае проблем с купленной готовой работой

Мы лидеры

LeWork является лидером по количеству опубликованных материалов для студентов

не подошла эта работа?

В нашей базе 78761 курсовых работ – поможем найти подходящую

Ответы на часто задаваемые вопросы

Как оплатить заказ?

Чтобы оплатить заказ на сайте, необходимо сначала пополнить баланс на этой странице - https://lework.net/addbalance

На странице пополнения баланса у вас будет возможность выбрать способ оплаты - банковская карта, электронный кошелек или другой способ.

После пополнения баланса на сайте, необходимо перейти на страницу заказа и завершить покупку, нажав соответствующую кнопку.

Если у вас возникли проблемы при пополнении баланса на сайте или остались вопросы по оплате заказа, напишите нам на support@lework.net. Мы обязательно вам поможем!

Есть ли услуга безопасной покупки, и какой срок гарантии?

Да, покупка готовой работы на сайте происходит через "безопасную сделку". Покупатель и Продавец финансово защищены от недобросовестных пользователей. Гарантийный срок составляет 7 дней со дня покупки готовой работы. В течение этого времени покупатель имеет право подать жалобу на странице готовой работы, если купленная работа не соответствует описанию на сайте. Рассмотрение жалобы занимает от 3 до 5 рабочих дней.

Что означает возможность снять с продажи готовую работу ?

У покупателя есть возможность снять готовую работу с продажи на сайте. Например, если необходимо скрыть страницу с работой от третьих лиц на определенный срок. Тариф можно выбрать на странице готовой работы после покупки.

Как вернуть средства за некачественную работу?

Гарантийный срок составляет 7 дней со дня покупки готовой работы. В течение этого времени покупатель имеет право подать жалобу на странице готовой работы, если купленная работа не соответствует описанию на сайте. Рассмотрение жалобы занимает от 3 до 5 рабочих дней. Если администрация сайта принимает решение о возврате денежных средств, то покупатель получает уведомление в личном кабинете и на электронную почту о возврате. Средства можно потратить на покупку другой готовой работы или вывести с сайта на банковскую карту. Вывод средств можно оформить в личном кабинете, заполнив соответствущую форму.

Как связаться со службой поддержки, если возникли вопросы?

Мы с радостью ответим на ваши вопросы по электронной почте support@lework.net