содержание
Введение 6
1 Литературный обзор 8
1.1 Азотирование 8
1.2 Азотирование сталей 11
1.3 Ионно-плазменное азотирование сталей 14
1.4 Высокочастотное азотирование 19
1.5 Влияние температуры ионно-плазменного азотирования на структурные и функциональные свойства сталей 27
1.6 Установка ионно-плазменного азотирования ИМПЛАЗ 800 30
1.7 Установка ионно-плазменного напыления ННВ-6.6-И1 33
1.8 Сравнение конкурирующих установок для ионно-плазменного азотирования 33
1.9 Перспективы развития ИПА 33
1.10 Постановка задачи исследования 33
2 Разработка установки. 35
2.1 Разработка эскизной компановки установки 35
2.2 Разработка блок-схемы и схемы подключения к установке 37
2.3 Анализ вакуумной системы. 38
2.4 Создание 3D модели установки 42
2.5 Разработка полной принципиальной и компоновочной схемы вакуумной установки 52
2.6 Разработка системы управления 42
2.8 Создание экспериментального образца и тестирование установки 42
3 Результаты исследований 58
3.1 Глубина азотирования 58
3.2 Вольтамперные характеристики тлеющего разряда 60
3.3 Распределение параметров плазмы в газоразрядном промежутке 60
Заключение 91
Список литературы 92
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 96
1 Литературный обзор 8
1.1 Азотирование 8
1.2 Азотирование сталей 11
1.3 Ионно-плазменное азотирование сталей 14
1.4 Высокочастотное азотирование 19
1.5 Влияние температуры ионно-плазменного азотирования на структурные и функциональные свойства сталей 27
1.6 Установка ионно-плазменного азотирования ИМПЛАЗ 800 30
1.7 Установка ионно-плазменного напыления ННВ-6.6-И1 33
1.8 Сравнение конкурирующих установок для ионно-плазменного азотирования 33
1.9 Перспективы развития ИПА 33
1.10 Постановка задачи исследования 33
2 Разработка установки. 35
2.1 Разработка эскизной компановки установки 35
2.2 Разработка блок-схемы и схемы подключения к установке 37
2.3 Анализ вакуумной системы. 38
2.4 Создание 3D модели установки 42
2.5 Разработка полной принципиальной и компоновочной схемы вакуумной установки 52
2.6 Разработка системы управления 42
2.8 Создание экспериментального образца и тестирование установки 42
3 Результаты исследований 58
3.1 Глубина азотирования 58
3.2 Вольтамперные характеристики тлеющего разряда 60
3.3 Распределение параметров плазмы в газоразрядном промежутке 60
Заключение 91
Список литературы 92
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 96
Весь текст будет доступен после покупки
Показать еще текст